SECS/GEM 协议入门：从 HSMS 到 SECS-II

SECS/GEM 是半导体行业设备与主机通信的标准协议，由 SEMI 组织制定。

核心组成

• SECS-I：基于 RS-232 串口的物理层实现
• HSMS：基于 TCP/IP 的高效实现，目前主流
• SECS-II：定义消息格式和数据结构
• GEM：通用设备模型，定义了状态采集、报警、远程控制等通用功能

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